KAIJO楷捷/超聲波精密清洗機(jī)

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產(chǎn)品名稱: KAIJO楷捷/超聲波精密清洗機(jī)

產(chǎn)品型號(hào): 98SL型

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

KAIJO楷捷/超聲波精密清洗機(jī) 的詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述：

KAIJO楷捷_98SL型_超聲波精密清洗
メガソニック洗浄（ハイメガソニック）

Ｓｉ?ェ??、ＧａＡｓ等の洗浄　液晶ガラスの洗浄　ガラスマスクの洗浄
ハードディスクの洗浄　水晶振動(dòng)子の洗浄　薄膜磁気ヘッドの洗浄
脆性材料等の洗浄　その他超精密洗浄
■特徴

メガソニック洗浄は超精密洗浄に威力を発揮する高周波洗浄機(jī)です。
半導(dǎo)體ウエハーや、液晶、ＨＤＤなどの超微粒子の除去にお使いいただいております。
高周波（７５０ｋＨｚ、９５０ｋＨｚ）のメガソニック洗浄は主に加速度で洗浄を行います。
このため、キャビテーションが殆ど発生しません。キャビテーションによるエロジョン（ダメージ）や定在波による洗浄ムラの解決に有効です。
■発振器特徴

●０．１Ｗパワー設(shè)定可能。高い電力安定性を?qū)g現(xiàn)。
ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に！
(200kHz以上に対応)
●４種類の特殊発振モード選択により、従來(lái)以上の高精度に精密洗浄が可能
●立上げ時(shí)?立下げ時(shí)のスピードを設(shè)定可能
●ＱＵＡＶＡシリーズはハイメガソニックシリーズとの互換性があり
発振器の入替で洗浄性能ＵＰが可能。
●舊ハイメガ78101型に比べ81％に小型化、重さも17ｋｇと軽量化！
●サイズは19インチラックに収納できる　規(guī)格化されたサイズ
●振動(dòng)子交換時(shí)の調(diào)整は原則不要（マッチングレス）
●用力はフリー電源方式のため、工場(chǎng)の電源電圧変動(dòng)などに左右されません
●１０種類の周波數(shù)に対応しているので、後から振動(dòng)子を交換することで、
周波數(shù)の変更が可能。
対応周波數(shù)：２６ｋＨｚ／３８ｋＨｚ／７８ｋＨｚ／１００ｋＨｚ／１３０ｋＨｚ／
１６０ｋＨｚ／２００ｋＨｚ／４３０ｋＨｚ／７５０ｋＨｚ／９５０ｋＨｚ

■発振器スペック

項(xiàng)目		仕様
定格出力		１２００Ｗ ※
発振周波數(shù)		26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz （振動(dòng)子の選択で変更）
発振モード		ＰＬＬ発振／固定発振／Ａモード発振／Ｂモード発振
電源	電流	１０Ａ
電源	電圧	AC200V～AC240V（±10％　1Φ　50/60Hz）
外形寸法		430（W)　×418（D)　×148（H)
重量		１７Ｋｇ
主な機(jī)能		リモートモード
		8段階出力
		RS485通信
		異常出力端子
		アナログ出力（出力のモニタリング） 0-5V(標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定）　or　4-20ｍA（出荷時(shí)切替可能）

※　注：２６ｋＨｚ,３８ｋＨｚの定格出力は６００Ｗになります。

仕様	ウェーハ6 振動(dòng)板仕様	ウェーハ8 振動(dòng)板仕様	ウェーハ12 振動(dòng)板仕様
型名	7857S型	8857S型	98SL型
許容入力	300Wx4	300Wx6	300Wx16
周波數(shù)	950kHz	950kHz	750kHz
振動(dòng)輻射面(mm)	136x163	165x215	275x319
振動(dòng)板材質(zhì)	SU316L	SU316L	SU316L
振動(dòng)體	PZT	PZT	PZT
*高使用溫度	70℃	70℃	70℃
外形寸法 (WxDxHmm)	185x215x55	255x305x55	410x340x65
取付方法	ボルト固定	ボルト固定	ボルト固定