日本ekusa 半導體藥液清洗裝置用加熱器ECN型
特征：
高純度 ● 所有接觸液體的部件均采用 PFA ● 無雜質洗脫 ● 使用低溫加熱器防止化學變質 ● 暴露于堿性化學品時不會變質 可靠性 ● *大使用壓力：0.4MPa ● *大使用溫度：標準品為80℃，特殊規格可制造至120℃ ● 內置過熱報警傳感器
因停電等突然停機時，溫度上升約10℃。即使在高溫下也可**使用 ●內置漏水傳感器 ●抵抗流量波動和沖擊 維護： - 使用低溫加熱器，因此使用壽命幾乎是長久的，無需更換加熱器。 - 極其緊湊，因此安裝很容易。
- 可有效利用現有的電氣控制。
產品型號：ECN-30P、ECN-45P、ECN-60P 、ECN-90P、ECN-120P 、ECN-240P
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