FLUORO福樂非接觸式晶圓搬運(yùn)卡盤

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產(chǎn)品名稱: FLUORO福樂非接觸式晶圓搬運(yùn)卡盤

產(chǎn)品型號: BC-P12-300

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

FLUORO福樂非接觸式晶圓搬運(yùn)卡盤 的詳細(xì)介紹

FLUORO福樂非接觸式晶圓搬運(yùn)卡盤 BC-P12-300

特點(diǎn)：

主體有20度、45度、90度三種手柄角度可選，平放的BC-K系列兼容2英寸至12英寸尺寸。（使用角度是固定的，不更換主體就無法改變。）

導(dǎo)向擋塊具有平緩的錐度，因此它會在一點(diǎn)與晶圓的邊緣接觸。

導(dǎo)向環(huán)由防靜電聚碳酸酯制成，可以目視確認(rèn)定位和吸附狀態(tài)。

主體采用導(dǎo)電尼龍樹脂制成，以減輕重量。

其兩面均印刷有圖案，可以處理難以處理的50μm薄晶圓。

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